Browsing by Author "Альжанова, А. Е."

Now showing items 1-2 of 2

    • Влияние верхнего оксидного слоя в оптических микрорезонаторах на основе нитрида кремния 

      Пархоменко, И. Н.; Власукова, Л. А.; Комаров, Ф. Ф.; Романов, И. А.; Альжанова, А. Е.; Демидович, С. А.; Ковальчук, Н. С. (БНТУ, 2022)
      Структуры SiNx/SiOx и SiOx/SiNx/SiOx были изготовлены на кремниевых подложках методами химического осаждения (PECVD, LPCVD). Показано, что верхний слой оксида кремния защищает нижележащий нитридный слой от непреднамеренного окисления во время быстрого термического отжига в инертной среде (1100 °C, 3 мин). Кроме того, верхний слой оксида кремния увеличивает выход фотолюминесценции ...
      2022-12-28

    • Влияние режимов импульсного лазерного отжига на оптические свойства кремния, гипердопированного селеном, для фотодетекторов видимого и ик-диапазонов 

      Комаров, Ф. Ф.; Пархоменко, И. Н.; Мильчанин, О. В.; Моховиков, М. А.; Ивлев, Г. Д.; Власукова, Л. А.; Альжанова, А. Е.; Ван, Тин (БНТУ, 2022)
      Слои кремния, легированные селеном до концентраций (4–6)ꞏ1020 см–3, что на 4 порядка величины превышает предел равновесной растворимости этой примеси, получены ионной имплантацией с последующим импульсным лазерным отжигом (ИЛО) при плотностях энергии в импульсе W = 0,55; 0,8; 1,0; 1,5; 2,0 и 2,5 Дж/см2. Методом обратного резерфордовского рассеяния ионов гелия показано, что до ...
      2022-12-28