Browsing by Author "Басалаев, С. П."
Now showing items 1-4 of 4
-
Инструмент для обработки шариков
Козерук, А. С.; Филонов, И. П.; Басалаев, С. П.; Коновалова, А. И.; Сухоцкий, А. А. (2005)Инструмент для обработки шариков : пат. 6824 Респ. Беларусь : МПК7 B24B11/02 / А. С. Козерук [и др.] ; заявитель Белорусский национальный технический университет ; дата публ.: 2005.03.30.2019-09-02 -
Использование прогрессивных материалов в конструкциях прецизионных систем координатных перемещений
Сайганов, В. А.; Басалаев, С. П.; Колядко, Н. С. (Технопринт, 2003)Сайганов, В. А. Использование прогрессивных материалов в конструкциях прецизионных систем координатных перемещений / В. А. Сайганов, С. П. Басалаев, Н. С. Колядко // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2003. – Вып. 19. – С. 205-209.2023-05-26 -
Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем
Чижик, С. А.; Басалаев, С. П.; Пилипенко, В. А.; Худолей, А. Л.; Кузнецова, Т. А.; Чикунов, В. В.; Суслов, А. А. (БНТУ, 2013)Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикро- электроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой ...2013-11-01 -
Способ обработки сферических поверхностей оптических деталей
Козерук, А. С.; Климович, Ф. Ф.; Басалаев, С. П.; Коновалова, А. И.; Климович, В. Ф.; Кожух, А. Г. (2004)Способ обработки сферических поверхностей оптических деталей : пат. 6646 Респ. Беларусь : МПК7 B24B13/00 / А. С. Козерук [и др.] ; заявитель Белорусский национальный технический университет ; дата публ.: 2004.12.30.2019-09-02