Морфология поверхности и элементный состав кремния, легированного примесями с помощью диффузионной технологии / А. Г. Анисович [и др.] // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении [Электронный ресурс] : материалы VIII международной научно-практической конференции (Минск, 19 марта 2020 года) : в рамках выставки «Автоматизация, электроника – ...