Доан, Тхе Хоанг. Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии / Тхе Хоанг Доан, Ван Ту Ань Нгуен, Динь Ньат Хань Чан ; науч. рук. Д. А. Голосов // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2023 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических ...