В настоящей работе рассмотрены принципы контроля прецизионных поверхностей изделий из материалов различной физической природы (металлы, полупроводники, диэлектрики). На основе теоретического анализа и экспериментальных исследований предложено использование принципа многопараметрических измерений применительно к односигнальной измерительной модели. Такой принцип позволяет произвести ...