Browsing by Author "Кузьмина, В. О."

Now showing items 1-2 of 2

    • Субструктура эпитаксиальной пленки β-SiC, синтезированной пиролизом метана на (111)Si методом ИФО 

      Солдатенко, С. А.; Кузьмина, В. О. (2018)
      Методами просвечивающей электронной микроскопии, дифракции быстрых электронов проведены исследования ориентации, структуры и морфологии пленок, образующихся при импульсной фотонной обработке излучением ксеноновых ламп пластин кремния (111) Si в атмосфере метана. Установлено, что при карбидизации поверхности кремниевой подложки формируется нанокристаллическая эпитаксиальная ...
      2019-04-16

    • Энергии активации процессов роста субзерен и развития морфологии при синтезе пленок β-SiC на (111)Si в атмосфере метана 

      Солдатенко, С. А.; Кузьмина, В. О.; Тураева, Т. Л. (2018)
      Методами просвечивающей электронной микроскопии, дифракции быстрых электронов, атомно-силовой микроскопии и оже-электронной спектроскопии проведены исследования фазового состава, ориентации, субструктуры и морфологии пленок, образующихся при импульсной фотонной обработке излучением ксеноновых ламп пластин кремния (111) Si в атмосфере метана. Установлено, что в диапазоне плотности ...
      2019-04-15