В работе проводились исследования пластин монокристаллического кремния с ориентацией [100], ?-типа проводимости с основной легирующей примесью бора, удельным сопротивлением 12 Ом?см либо 0,005 Ом?см, с последующей обработкой согласно режиму технологической операции. Цель работы заключалась в изучении методом ЭПР влияния УФ-излучения на стабильность модифицированного ион-ной ...