Browsing by Author "Лушакова, М. С."
Now showing items 1-4 of 4
-
Исследование влияния конструктивных характеристик плазменной камеры на режимы возбуждения СВЧ разряда
(БНТУ, 2022)Представлены исследования влияния конструктивного исполнения, местоположения и расстояния между торцевыми поверхностями плазменной камеры на условия возбуждения самостоятельного СВЧ разряда.2022-12-28 -
Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок
(БНТУ, 2018)Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 240-241.2019-04-25 -
Исследование особенностей возбуждения разряда с эффектом полого катода в n2 в трубчатом электроде
(БНТУ, 2018)Исследование особенностей возбуждения разряда с эффектом полого катода в n2 в трубчатом электроде / А. И. Божко [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 247-248.2019-04-25 -
СВЧ-плазмотрон резонаторного типа с динамическим управлением распределения свч энергии в объеме плазменной камеры
(БНТУ, 2017)СВЧ-плазмотрон резонаторного типа с динамическим управлением распределения свч энергии в объеме плазменной камеры / С. В. Бордусов [и др.] // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. ...2018-02-06
