Изучено влияние электрических характеристик импульсного источника питания сверхвысокой частоты (СВЧ) магнетрона на условия формирования СВЧ разряда, определяемые режимом работы СВЧ генераторной системы в целом. Формирование плазменного разряда осуществлялось в вакуумируемом реакционно-разрядном объеме, расположенном внутри прямоугольной резонаторной камеры. В зависимости от режимов ...

Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа / С. И. Мадвейко [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 275-277.

Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 240-241.

Рассмотрены особенности влияния условий электропитания СВЧ-магнетрона на величину СВЧ мощности в плазменном объеме при импульсном и квазипостоянном режимах генерации энергии. Установлено, что в режиме работы СВЧ-магнетрона с постоянным уровнем сигнала анодного тока вели- чина СВЧ-мощности в объеме возбуждаемой ею плазмы разряда в среде воздуха уменьшается до 2,3 раз, по сравнению ...

Бордусов, С. В. Регулирование величины мгновенной выходной мощности магнетрона непрерывного режима генерации (типа М-105, М-112) в составе плазменной технологической установки / С. В. Бордусов, С. И. Мадвейко // Вестник Белорусского национального технического университета : научно-технический журнал. – 2010. – № 4. – С. 42-45.