Для получения функциональных слоев газовых сенсоров на основе оксида цинка был использован метод ионного наслаивания (Successive Ionic Layer Adsorbtion and Reaction, SILAR). Осаждение пленок проводилось на нанопористые подложки из оксида алюминия, как на пористую, так и на барьерную сторону. Часть полученных образцов были подвергнуты термической обработке для исследования влияния ...