Рассмотрены назначение, особенности, управление и программное обеспечение вакуумно-технологического оборудования.

Формирование диодов Шоттки на основе поли-Si для микроболометрических матриц/ В. О. Наливайко [и др.] // Новые направления развития приборостроения : материалы 10-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 26−28 апреля 2017 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2017. – Т. 1. - С. 317.