Исследование электрических характеристик пленок карбонитрида кремния, легированного металлом / В. Е. Обухов [и др.] // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Девятой международной научно-технической конференции : в 4 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2011. – Т. 1. – С. 324.