Высокоточные методы контроля выходных параметров полупроводниковых кремниевых пластин / А. Ю. Луговик [и др.] // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Третьей международной научно-технической конференции : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2006. – Т. 1. – С. 269-272.