Browsing by Author "Пологов, А. С."
Now showing items 1-2 of 2
-
Конфигурация магнитной системы для формирования разряда низкого давления в магнетронных распылительных системах
(БНТУ, 2021)Авторами данной работы показано, что основной проблемой при формировании покрытий с использованием магнетронных распылительных систем является сравнительно высокое давление рабочего газа, при котором возникает магнетронный разряд – порядка 0,1 Па. Проанализированы существующие методы уменьшения рабочего давления МРС ниже уровня 0,1 Па. В данной работе предложена схема МРС с ...2021-07-15 -
Снижение неравномерности магнитного поля протяженной магнетронной распылительной системы с вращающимся цилиндрическим катодом
(ФТИ НАН Беларуси, 2023)Проведено исследование распределения напряженности магнитного поля над поверхностью магнитной системы цилиндрического магнетрона. Показано, что применение шунтирующей накладки из магнитной стали марки SUS 420 J2 позволяет повысить однородность получаемого магнитного поля, что непосредственно влияет на равномерность напыляемых покрытий. При этом толщина накладки не влияет на ее ...2025-04-02
