Эгамбердиев, Б. Э. Влияние отжига на кристаллическую структуру поверхности кремния, легированного ионами CO / Б. Э. Эгамбердиев, Ф. М. Исроилов, Н. М. Рахимова // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный ...