Browsing by Author "Русецкий, В. А."
Now showing items 1-3 of 3
-
Использование информационных технологий для регистрации научно-исследовательских работ
(БНТУ, 2009)Описано решение проблемы автоматизированного учета и контроля научно-исследовательских, опытно-конструкторских и опытно-технологических работ.2014-06-23 -
Методы автоматического контроля топологии планарных структур изделий электронной техники
(БНТУ, 2013)Приводится описание существующих методов автоматического контроля топологии планарных структур изделий микро- и наноэлектроники, других изделий электронной техники, дается их классификация. На основании анализа факторов, влияющих на принятие решения о выборе метода контроля топологии, определяется алгоритм выбора метода в зависимости от характеристик контролируемого объекта и ...2013-12-06 -
Технология изготовления фотошаблонов, основанная на оперативном моделировании параметризованных процессов фотолитографии
(БНТУ, 2013)Приводятся результаты разработки нового подхода к изготовлению оригиналов топологии на фотошаблонах, обеспечивающего возможность оперативной оценки фотолитографической значимости дефектов маски, обнаруженных в процессе контроля фотошаблонов на соответствие топологии, без выполнения операции проекционного переноса изображения с фотошаблона на полупроводниковую пластину. Данный ...2013-12-05
