Саратокина, В. И. Барьерные слои в системе медной металлизации интегральных микросхем / В. И. Саратокина, А. Г. Черных // Новые направления развития приборостроения : материалы 10-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 26−28 апреля 2017 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, ...