Browsing by Author "Соловьёв, Я. А."
Now showing items 1-3 of 3
-
Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801»
(БНТУ, 2020)Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» / Я. А. Соловьёв [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 313-315.2021-02-09 -
Определение времени окончания плазмохимического травления слоев p-GaN и AlGaN в гетероструктурах типа p-GaN/AlGaN/GaN с двумерным электронным газом с использованием лазерной интерферометрии
(БНТУ, 2022)Методом лазерной интерферометрии и сканирующей электронной микроскопии установлены закономерности изменения во времени интенсивности отраженного сигнала, регистрируемого детектором лазерного интерферометра с рабочей частотой 670 нм, в процессе реактивного ионного травления в индуктивно-связанной плазме в атмосфере Cl2/N2/O2 слоев p-GaN и AlGaN в гетероструктурах типа p-GaN/AlGaN/GaN. ...2022-12-28 -
Структура и физико-механические свойства пленок Ni-Pt-V на кремнии после быстрой термической обработки
(БНТУ, 2023)Методами атомно-силовой микроскопии и наноиндентирования исследованы морфология и физико-механические свойства пленок Ni-Pt-V толщиной 40 нм на кремнии после воздействия быстрой термической обработки (БТО). Структура поврехности пленки после 350 °С состоит из зерен размером 11,81–17,77 нм, образующих конгломераты. Размер конгломератов уменьшается при увеличении темпера- туры БТО, ...2023-12-21
