Browsing by Author "Сухоставский, А. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
Технология химической обработки подложек для ИС
Сухоставский, А. В.; Сычик, В. А. (БНТУ, 2012)Сухоставский, А. В. Технология химической обработки подложек для ИС / А. В. Сухоставский, В. А. Сычик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 185.2022-09-22