Зинчук, О. В. Наноструктурирование поверхности кремниевых пластин низкоэнергетической водородной плазмой / О. В. Зинчук, М. С. Тиванов, С. В. Чигирь ; науч. рук.: А. К. Федотов, Н. А. Дроздов // НИРС-2003 : VIII республиканская научно-техническая конференция студентов и аспирантов, 9-10 декабря 2003 г., г. Минск : тезисы докладов : в 7 ч. / Белорусский национальный технический ...