Now showing items 1-1 of 1

    • Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» 

      Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А.; Яковлев, В. П.; Хлопков, Н. С.; Гринцевич, Е. В.; Сарычев, О. Э. (БНТУ, 2020)
      Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» / Я. А. Соловьёв [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 313-315.
      2021-02-09