Browsing by Author "Цыпленков, Я. Г."
Now showing items 1-1 of 1
-
Модернизация вакуумной установки ВУ-700 для получения пленок металлов с целью предсерийной отработки процессов производства изделий микроэлектроники
Цыпленков, Я. Г. (2020)2020-04-09