Browsing by Author "Чикунов, В. В."

Now showing items 1-4 of 4

    • Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем 

      Чижик, С. А.; Басалаев, С. П.; Пилипенко, В. А.; Худолей, А. Л.; Кузнецова, Т. А.; Чикунов, В. В.; Суслов, А. А. (БНТУ, 2013)
      Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикро- электроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой ...
      2013-11-01

    • Проблемы контактного взаимодействия в микромеханике 

      Чижик, С. А.; Чикунов, В. В.; Лапицкая, В. А. (БНТУ, 2022)
      В работе представлены диагностическое оборудование и оригинальные методики для количественной оценки данных факторов с использованием метода сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены примеры использования предложенных подходов.
      2022-12-28

    • Технологии самоконтроля, минимизирующие риски перенапряжения и внезапной смерти спортсменов 

      Ярмолинский, В. И.; Чикунов, В. В.; Луневич, А. Я.; Глухов, Ю. Ф. (БНТУ, 2014)
      Технологии самоконтроля, минимизирующие риски перенапряжения и внезапной смерти спортсменов / В. И. Ярмолинский [и др.] // Состояние и перспективы технического обеспечения спортивной деятельности : сборник статей (материалы III Международной научно-технической конференции) / ред. кол.: И. В. Бельский, В. Е. Васюк, Н. А. Парамонова. – Минск, 2014. – С. 5 - 10.
      2014-09-10

    • Устройство нанопозиционирования в атомно-силовом микроскопе 

      Чикунов, В. В.; Смулько, Е. В. (БНТУ, 2008)
      Чикунов, В. В. Устройство нанопозиционирования в атомно-силовом микроскопе / В. В. Чикунов, Е. В. Смулько // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Шестой международной научно-технической конференции : в 3 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2008. – Т. 2. – С. 323.
      2021-08-30