Телеш, Е. В. Формирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишени / Е. В. Телеш, О. В. Гуревич, С. А. Юшкевич // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - ...