Кремний монокристаллига рух ва олтингугурт элементларини диффузия усули ёрдамида бир вақтда легирлаш технологияси / Н. Ф. Зикриллаев [и др.] // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет ...