Jinho Ahn, Dr. New technology from lab to fab: a case study on EUV lithography / Dr. Jinho Ahn // Наука. Инновации. Производство = Science. Innovation. Production : сборник материалов VI Белорусско-Корейского научно-технического форума, 10 апреля 2019 г. / Belarusian National Technical University. – Minsk : BNTU, 2019. – С. 10.