Browsing Материалы 05-й конференции by Author "Тявловский, А. К."
Now showing items 1-1 of 1
-
Неразрушающий контроль параметров пространственного распределения дефектов с характерными размерами более 50 нм в полупроводниковых пластинах
Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Тявловский, К. Л.; Тявловский, А. К. (БНТУ, 2007)Неразрушающий контроль параметров пространственного распределения дефектов с характерными размерами более 50 нм в полупроводниковых пластинах / О. К. Гусев [и др.] // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Пятой международной научно-технической конференции : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. ...2021-11-08