Формирование системы вертикальных нанотрубок состава Si2,O2 в кремниевой пластине, посредством имплантации гелия и обработкой плазмой кислорода
Bibliographic entry
Францкевич, Н. В. Формирование системы вертикальных нанотрубок состава Si2,O2 в кремниевой пластине, посредством имплантации гелия и обработкой плазмой кислорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Седьмой международной научно-технической конференции : в 3 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2009. – Т. 2. – С. 399.