Влияние состава и конструкции композиционного катода на структуру и свойства нанопокрытий при магнетронном распылении
Bibliographic entry
Ковалевская, А. В. Влияние состава и конструкции композиционного катода на структуру и свойства нанопокрытий при магнетронном распылении / А. В. Ковалевская, А. Е. Жук // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Седьмой международной научно-технической конференции : в 3 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2009. – Т. 3. – С. 21.