Неразрушающий контроль параметров пространственного распределения дефектов с характерными размерами более 50 нм в полупроводниковых пластинах
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | ru |
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-11-08T12:35:06Z | |
| dc.date.available | 2021-11-08T12:35:06Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.identifier.citation | Неразрушающий контроль параметров пространственного распределения дефектов с характерными размерами более 50 нм в полупроводниковых пластинах / О. К. Гусев [и др.] // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Пятой международной научно-технической конференции : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2007. – Т. 1. – С. 385-388. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/105841 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Неразрушающий контроль параметров пространственного распределения дефектов с характерными размерами более 50 нм в полупроводниковых пластинах | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
