Комбинированный метод получения алмазоподобных пленок
Bibliographic entry
Коледа, М. А. Комбинированный метод получения алмазоподобных пленок / М. А. Коледа, Т. Н. Федосенко ; науч. рук. Н. Н. Федосенко // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы IV Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ (64-й студенческой научно-технической конференции БНТУ), 17-18 апреля 2008 г. : в 2 ч. / редкол.: С. A. Иващенко (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – Ч. 2. – С. 69-71.
Abstract
Комбинированный метод нанесения алмазоподобных углеродных пленок сочетает в себе высокую производительность и необходимые условия формирования тонкопленочных элементов из эрозионной плазмы, которые обладают уникальными эксплуатационными свойствами.