Особенности метода ионно-лучевого синтеза алмазоподобных пленок
Bibliographic entry
Федосенко, Т. Н. Особенности метода ионно-лучевого синтеза алмазоподобных пленок / Т. Н. Федосенко, М. А. Коледа ; науч. рук. Н. Н. Федосенко // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы IV Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ (64-й студенческой научно-технической конференции БНТУ), 17-18 апреля 2008 г. : в 2 ч. / редкол.: С. A. Иващенко (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – Ч. 2. – С. 121-123.
Abstract
В работе рассмотрены особенности ионно-лучевого синтеза алмаза- Подобных плёнок с помощью низкоэнергетических и высокоэнергетических источников. Отличительными особенностями метода являются промышленно-приемлимые скорости осаждения, хорошая адгезия, высокое свето-пропускание в видимом и инфракрасном диапазонах спектра.