Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода
| dc.contributor.author | Францкевич, Н. В. | ru |
| dc.contributor.author | Францкевич, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Мартинович, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-12-07T11:26:33Z | |
| dc.date.available | 2021-12-07T11:26:33Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Францкевич, Н. В. Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, В. А. Мартинович // Информационные технологии в технических и естественных науках [Электронный ресурс] : материалы Республиканской научно-практической конференции, 20 мая 2021 г. / редкол.: А. М. Авсиевич [и др.] ; сост. В. А. Мартинович. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 176-180. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/108072 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
