Show simple item record

dc.contributor.authorФранцкевич, Н. В.ru
dc.contributor.authorФранцкевич, А. В.ru
dc.contributor.authorМартинович, В. А.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2021-12-07T11:26:33Z
dc.date.available2021-12-07T11:26:33Z
dc.date.issued2021
dc.identifier.citationФранцкевич, Н. В. Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, В. А. Мартинович // Информационные технологии в технических и естественных науках [Электронный ресурс] : материалы Республиканской научно-практической конференции, 20 мая 2021 г. / редкол.: А. М. Авсиевич [и др.] ; сост. В. А. Мартинович. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 176-180.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/108072
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleДефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водородаru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record