| dc.identifier.citation | Августовский, П. А. Современные вакуумные физические методы нанесения тонких пленок, основанные на методе испарения материала / П. А. Августовский // Перспективные направления развития технологии машиностроения и металлообработки. Технология – Оборудование – Инструмент – Качество : тезисы докладов 35-ой Международной научно-технической конференции в рамках международной специализированной выставки «Машиностроение-2021», (Минск, 8 апреля 2021 г.) / редкол.: В. К. Шелег (отв. ред.) [и др.]. – Минск : Бизнесофсет, 2021. – С. 8-10. | ru |
