Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Головня, К. Ч."
Now showing items 1-1 of 1
-
Фотоемкостной метод контроля параметров примесей и дефектов в полупроводниковых структурах
Сопряков, В. И.; Головня, К. Ч. (БНТУ, 2021)Предложен фотоемкостной метод, позволяющий контролировать параметры ловушек неосновных и основных носителей заряда в полупроводниковых структурах с малым временем жизни (1–30 нс). Метод основан на перезарядке глубоких уровней импульсным фототоком и измерении кривых релаксации высокочастотной емкости.2022-02-02