Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Козуля, А. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из оксидов металлов
Таратын, И. А.; Козуля, А. А.; Рысик, А. Н. (БНТУ, 2021)В данной работе рассматривается конструкция и характеристики газового сенсора, реализованные на кремниевой подложке, с использованием планарной технологии. При измерениях выходного сигнала в качестве нагревательного элемента были использованы оксиды металлов III-й группы таблицы Менделеева, которые одновременно являлись газочувствительным слоем. Данная конструкция обеспечивает ...2022-02-02