Морфология поверхности и механические свойства покрытий Al-Cr-N с различным содержанием Al
Another Title
Surface morphology and mechanical properties of Al-Cr-N coatings with different Al content
Bibliographic entry
Морфология поверхности и механические свойства покрытий Al-Cr-N с различным содержанием Al = Surface morphology and mechanical properties of Al-Cr-N coatings with different Al content / Т. А. Кузнецова [и др.] // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 291-293.
Abstract
Методами атомно-силовой микроскопии и наноиндентирования проведены исследования морфологии поверхности и механических свойств покрытий AlCrN с различным содержанием Al. На поверхности покрытий наблюдается большое количество микрочастиц. Морфология покрытия изменяется с увеличением концентрации Al и увеличивается количество микрочастиц на поверхности. Модуль упругости Е и микротвердость Н у покрытия с равным содержанием Al и Cr снижается до значений 184 и 13,8 ГПа соответственно по сравнению с покрытием CrN. С увеличением содержания Al в покрытии до 70 % Е и Н возрастают до значений 234 и 19,8 ГПа соответственно. Дальнейшее увеличение содержание Al до 80 % приводит к снижению механических свойств.
Abstract in another language
Surface morphology and mechanical properties of AlCrN coatings with different Al content have been studied by atomic force microscopy and nanoindentation There is a large number of microparticles on the surface coating. The morphology of the coating changes with increasing Al concentration and the number of microparticles on the surface increases. The elastic modulus E and microhardness H of the coating with equal Al and Cr content are reduced to values of 184 and 13,8 GPa, respectively, compared with the CrN coating. E and H increase to values of 234 and 19,8 GPa with an increase in the Al content in the coating to 70 %. A further increase in the Al content to 80 % leads to a decrease in mechanical properties.