| dc.contributor.author | Николаева, Т. А. | ru |
| dc.contributor.author | Таратын, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Чижик, С. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-02-02T08:10:14Z | |
| dc.date.available | 2022-02-02T08:10:14Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Николаева, Т. А. Эллиптический емкостной микродатчик давления = Elliptical capacitive pressure microsensor / Т. А. Николаева, И. А. Таратын, С. А. Чижик // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 316-317. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/109558 | |
| dc.description.abstract | Емкостной датчик давления состоит из подвижной мембраны, которая вызывает изменение емкости для приложенного давления. Для достижения высокой чувствительности используется тонкая мембрана большой площади с небольшим разделительным зазором между мембраной и металлическим контактом. Это приводит к нелинейности, уменьшает динамический диапазон измерений и увеличивает размер датчика. Таким образом, оптимальная конструкция датчика необходима для достижения баланса между этими компромиссами. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Эллиптический емкостной микродатчик давления | ru |
| dc.title.alternative | Elliptical capacitive pressure microsensor | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | A capacitive pressure sensor consists of a moving diaphragm that causes a change in capacitance for the applied pressure. To achieve high sensitivity, a thin, large area diaphragm with a small separation gap between the diaphragm and the metal contact is used. This results in non-linearity, reduces the dynamic range of the measurement and increases the size of the sensor. Thus, optimal sensor design is needed to achieve a balance between these tradeoffs. | ru |
