Гидрофильные свойства наноструктурированных покрытий оксидов, нитридов тантала и алюминия
Another Title
Hydrophilic properties of nanostructured coatings of oxides and nitrides of tantalum and aluminum
Bibliographic entry
Гидрофильные свойства наноструктурированных покрытий оксидов, нитридов тантала и алюминия = Hydrophilic properties of nanostructured coatings of oxides and nitrides of tantalum and aluminum / А. С. Петровская [и др.] // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 322-324.
Abstract
Исследован гидрофильно–гидрофобный баланс одно- и двухслойных наноструктурированных покрытий оксидов и нитридов тантала (V) и алюминия методами неподвижной капли и атомно-силовой микроскопии. Установлено, что наименьшие значения краевого угола смачивания 92,6° и удельной поверхностной энергией y1 0,17 мДж/м2 зафиксированы у пленки Ta2O5. Для покрытий на основе алюминия характерны более высокие гидрофобные свойства. Так, краевой угл смачивания AlN/Al2O3 составил 100,9°.
Abstract in another language
The hydrophilic – hydrophobic balance of one- and two-layer nanostructured coatings of oxides and nitrides of tantalum (V) and aluminum was studied using atomic force microscopy and sessile drop method. It was found that the smallest values of the contact angle 92.6 ° and specific surface energy y1 0.17 mJ/m2 were recorded for the Ta2O5 film. Aluminum-based coatings are characterized by higher hydrophobic properties. Thus, the AlN/Al2O3contact angle was 100.9°.