| dc.contributor.author | Таратын, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Козуля, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Рысик, А. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-02-02T08:10:16Z | |
| dc.date.available | 2022-02-02T08:10:16Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Таратын, И. А. Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из оксидов металлов = Semiconductor gas sensor with metal oxide heater / И. А. Таратын, А. А. Козуля, А. Н. Рысик // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 351-352. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/109577 | |
| dc.description.abstract | В данной работе рассматривается конструкция и характеристики газового сенсора, реализованные на кремниевой подложке, с использованием планарной технологии. При измерениях выходного сигнала в качестве нагревательного элемента были использованы оксиды металлов III-й группы таблицы Менделеева, которые одновременно являлись газочувствительным слоем. Данная конструкция обеспечивает высокую чувствительность к воздействию оксида азота с концентрацией 2 ppm и оксида углерода с концентрацией 11,8 ppm. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из оксидов металлов | ru |
| dc.title.alternative | Semiconductor gas sensor with metal oxide heater | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | In this paper, the design and characteristics of a gas sensor implemented on a silicon substrate using planar technology are considered. When measuring the output signal, metal oxides of the III group of the periodic table were used as a heating element, which simultaneously served as a gas-sensitive layer. This design provides high sensitivity to the effects of nitric oxide with a concentration of 2 pm and carbon monoxide with a concentration of 11.8 ppm. | ru |
