Коэффициент использования мишени при магнетронном распылении
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2021Publisher
Bibliographic entry
Щаврук, А. А. Коэффициент использования мишени при магнетронном распылении / А. А. Щаврук, Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25-26 ноября 2021 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 355-356.