Анализ кинетических и термодинамических параметров процесса осаждения ионно-плазменных покрытий в вакууме
Bibliographic entry
Иванов, И. А. Анализ кинетических и термодинамических параметров процесса осаждения ионно-плазменных покрытий в вакууме / И. А. Иванов // Перспективные направления развития технологии машиностроения и металлообработки. Технология – Оборудование – Инструмент – Качество : тезисы докладов 36-ой Международной научно-технической конференции в рамках международной специализированной выставки «Машиностроение/Металлобработка–2022», (Минск, 7 апреля 2022 г.) / редкол.: В. К. Шелег (отв. ред.) [и др.]. – Минск : Бизнесофсет, 2022. – С. 42-44.