| dc.contributor.author | 赵朗 | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-08-02T12:30:32Z | |
| dc.date.available | 2022-08-02T12:30:32Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | 赵朗. 面向芯片稀土纳米氧化铈化学机械抛光液的研发 / 赵朗 // Минск – Шанхай – Чанчунь: стратегия прорывного сотрудничества : сборник материалов научно-практической конференции (Минск, 21 апреля 2022 г.) / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 238-240. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/115438 | |
| dc.description.abstract | Отечественный раствор оксида церия для полировки обладает рядом проблем, таких как неравномерная форма абразивных частиц, серьезная агломерация, загрязнение ионами металлов и плохие характеристики полировки, что не может удовлетворить требования к полировке чипов. Ожидается, что путем разработки новой технологии изготовления полировального порошка и нового типа экологически чистой полировальной жидкости возможно решить вышеуказанные проблемы и обеспечим отечественное производство чипов. | ru |
| dc.language.iso | cn | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | 面向芯片稀土纳米氧化铈化学机械抛光液的研发 | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | 国产氧化铈抛光液普遍存在磨粒形貌不均、团聚严重、金属离子污 染和抛光性能差等问题，无法达到芯片抛光要求。我们通过开发抛光粉制备新 工艺，研发绿色环保新型抛光液，有望克服上述难题为国产芯片制造保驾护航。 | ru |
