Оптические и электрофизические свойства тонких пленок ZnO с легирующими добавками ITO
| dc.contributor.author | Чумаков, А. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Гулай, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шевченок, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Баран, Л. В. | ru |
| dc.contributor.author | Кароза, А. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Малютина-Бронская, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Гулай, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Босак, Н. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Витебск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-08-09T12:06:33Z | |
| dc.date.available | 2022-08-09T12:06:33Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Оптические и электрофизические свойства тонких пленок ZnO с легирующими добавками ITO / А. Н. Чумаков [и др.] // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума 22-26 мая 2017 : в 2 ч. / под ред. В. В. Рубаника. – Витебск : ВГТУ, 2017. — Ч. 1. — С. 94-96. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/117205 | en |
| dc.description.abstract | Методом импульсного высокочастотного лазерного осаждения керамических мишений в вакууме получены тонкие пленки ZnO с легирующими добавками ITO для сенсорных структур. Представлены результаты исследований микроструктуры распыляемых керамических мишеней. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | ВГТУ | ru |
| dc.title | Оптические и электрофизические свойства тонких пленок ZnO с легирующими добавками ITO | ru |
| dc.type | Article | en |
