Технология формирования плёнок SiO2 термическим окислением
Bibliographic entry
Филиппов, А. А. Технология формирования плёнок SiO2 термическим окислением / А. А. Филиппов, В. А. Сычик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 188.