Раздельный синтез SiC с учетом стереологии конденсируемого потока при магнетронном распылении
Bibliographic entry
Чакуков, Р. Ф. Раздельный синтез SiC с учетом стереологии конденсируемого потока при магнетронном распылении / Р. Ф. Чакуков, Д. А. Шаплыко, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 190.