Загрузчик полупроводниковых пластин
Bibliographic entry
Григорян, Е. В. Загрузчик полупроводниковых пластин / Е. В. Григорян, С. Н. Суровой // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 100.