Влияние термообработки на фазовый состав и механические свойства кремний-углеродных покрытий
Bibliographic entry
Руденков, А. С. Влияние термообработки на фазовый состав и механические свойства кремний-углеродных покрытий / А. С. Руденков, А. А. Середа // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 1. – С. 258-262.
Abstract
Рассматриваются перспективы легирования кремнием углеродных покрытий с точки зрения улучшения их термостойкости. Определено влияние термообработки на химический и фазовый состав, микротвердость и триботехнические свойства кремний-углеродных покрытий, сформированных путем ионно-лучевого испарения мишени на основе карбида кремния.