| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Мацкевич, Э. П. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-21T12:02:58Z | |
| dc.date.available | 2022-10-21T12:02:58Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Мацкевич, Э. П. Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью / Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 367-370. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/120896 | |
| dc.description.abstract | Увеличение производительности магнетронной распылительной
системы путем повышения тока разряда негативно влияет на работу магнетронной распылительной системы (МРС). В связи с этим
наибольший интерес предоставляет МРС с жидкофазной мишенью.
В данной статье рассмотрены две основные конструкции МРС с жидкофазной мишенью. Предоставлены основные преимущества и недостатки данных конструкций и сравнительная характеристика с обычными МРС. Так же сделаны выводы про внедрение данных систем в
производство. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
