Цилиндрическая магнетронная распылительная система с увеличенной зоной распыления мишени
Bibliographic entry
Мацкевич, Э. П. Цилиндрическая магнетронная распылительная система с увеличенной зоной распыления мишени / Э. П. Мацкевич ; науч. рук.: В. М. Комаровская, О. И. Терещук // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 371-373.
Abstract
В данной статье описывается цилинрическая магнетронная распылительная система для нанесения тонких пленок дисилицида молибдена.